Heraeus Covantics

在这一过程中，含硅前驱物（如四氯化硅；STC）在含氧气氛中燃烧，以形成二氧化硅纳米颗粒，也称为烟尘。由于前驱物是专门生产和提炼的，因此纯度极高，所以生产出的合成熔融石英的金属杂质含量极低。

由于生产过程涉及化学品蒸汽（含硅前驱物），因此被称为化学气相沉积（CVD）。目前有两种化学气相沉积工艺，一种是将沉积的纳米颗粒直接熔炼成浓缩的熔融石英层，另一种是将烟尘积聚起来，在第二道加工步骤中将其凝结成透明熔融石英（这道工序称为玻璃化）。